威谱测 VIPICO · 半导体应用白皮书 · 采集日期：2026年11月2日
北京威谱测光电科技有限公司（威谱测 VIPICO）使用激光测振仪记录晶圆上下料过程中表面测点的运动，并在后处理中查看沿激光测量方向的相对位移和速度。P1、P2 两份记录均以 8 kHz 采样，各自从零时刻计时。曲线可以帮助设备调试人员复查运动、停留和方向变化。
测量与后处理
- 记录测点位置、光束方向、运动路径和采集工况，检查遮挡、支架稳定性及有效回光。
- 执行上下料动作，分别记录测点、采样率和采集时长。
- 按每份记录的时间轴查看位移与速度，在全程曲线中选取局部窗口，保留窗口与处理参数。
P1 与 P2 的记录结果
| 指标 | P1 | P2 |
|---|---|---|
| 采样率 | 8 kHz | 8 kHz |
| 记录时长 | 46.656 s | 44.448 s |
| 局部分析窗口 | 40–45 s | 22–26 s |
| 窗口内相对位移范围 | −46.8 至 +291.3 mm | −53.2 至 +139.1 mm |
| 窗口内速度极值 | −652.0 / +674.3 mm/s | −670.4 / +713.2 mm/s |
| 全程位移跨度 | 671.7 mm | 405.6 mm |
速度极值取自平滑后的曲线。全程位移跨度与局部位移范围采用不同统计区间。四幅全程及局部曲线见 PDF，数据来自案例测试汇报第 2 至 6 页。
如何把结果用于设备调试
在同一测点、相同动作程序和一致处理参数下重复采集，可比较各周期的位移幅度、速度峰值、动作时长和停留阶段。评估稳定时间前应定义目标区间和允许偏差。比较两点瞬时运动前，应建立统一触发或可靠的时间对齐，并记录空间坐标与测量方向。
常见问题
P1 与 P2 可以直接逐点相减吗？
应先核对时间同步、动作对应关系和测量方向。本案例的 P1、P2 使用各自的时间原点。
设备视频可以和曲线逐帧对应吗？
现场视频用于说明设备动作。建立逐帧对应需要视频时钟与采集时钟之间的映射，复测时可一并记录。
这份资料能用于比较仪器型号或精度吗？
该报告记录本次工况下的运动数据，未列仪器具体配置和完整处理参数。选型时可结合目标频段、运动行程、测点可见性和试样布置开展验证。
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